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白光干涉儀在實(shí)際中應(yīng)該怎么測量

點(diǎn)擊次數(shù):6403 更新時間:2018-11-13
  白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度zui高的測量儀器之一,在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它的儀器無法達(dá)到其加工精度要求。
 
  白光干涉儀基本原理:
  是用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
 
  白光干涉儀產(chǎn)品用途:
  結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn),可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。
 
  白光干涉儀的測量應(yīng)用:
  以測量單刻線臺階為例,在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對應(yīng)插孔后,開啟儀器電源開關(guān),啟動計算機(jī),將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置,先手動調(diào)整載物臺大概位置,對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
 
  白光干涉儀的特點(diǎn):
  1、非接觸式測量:避免物件受損。
  2、三維表面測量:表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。
  3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
  4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。
  5、高速數(shù)字信號處理器:實(shí)現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。
  6、掃描儀:閉環(huán)控制系統(tǒng)。
  7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
  8、測量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
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